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环晟光伏申请用于硅片硼硅玻璃层的刻蚀液相关专利,提高硅片的良率和效率

信息来源:glasseasy.com   时间: 2024-12-12  浏览次数:81


本文源自:金融界

金融界2024年10月26日消息,国家知识产权局信息显示,环晟光伏(江苏)有限公司申请一项名为“用于硅片硼硅玻璃层的刻蚀液、使用方法和应用”的专利,公开号 CN 118813262 A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,本发明公开了用于硅片硼硅玻璃层的刻蚀液、使用方法和应用,其中,用于硅片硼硅玻璃层的刻蚀液中包括 HF、水、HCl、氧化剂和碱抛添加剂。本申请刻蚀液通过刻蚀液中各组分的协同作用,可以在保证硅片正面不被刻蚀液影响的同时,即便硅片边缘掺杂氮化硅、氮氧化硅或者未完全氧化导致硼浓度高时,也能够对硅片侧面和背面进行有效刻蚀,提高硅片的良率和效率。


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